• 陶瓷靶材(氧化鋅鋁ZAO)制備及其薄膜性能研究

    發布日期:2023-03-12 10:34 瀏覽次數:158
      陶瓷靶材(氧化鋅鋁ZAO)制備及其薄膜性能研究
     
      試驗結果表明:制得的ZAO靶材具有良好的粘接性和濺射性能,內部組織致密,靶材中有明顯的ZnAl2O4相。在優化沉積工藝條件下,制備的ZAO薄膜方塊電阻為35Ω,電阻率可達3.84×10-4Ω·cm,可見光透過率可達91.1%。沉積態的ZAO薄膜具有很好的結晶性,并呈現(002)擇優取向。ZAO薄膜有明顯的紫外吸收限,帶隙Eg約為3.76 eV。ZAO靶材的工業化磁控鍍膜試驗也取得了較好的結果。
     
      本文制備出了低成本、高密度、性能優異的ZAO陶瓷靶材。在此基礎上進行了ZAO薄膜的制備實驗,發現制得的ZAO靶材具有很好的濺射性能,同時制備出低電阻率、高透過率的ZAO透明導電薄膜,工業化試驗也取得了較好的結果。.
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